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                智能型PECVD系統(含壓力控制系統)

                簡要描述:智能PECVD設備是目前最新型的一款設備,將所有的控制部分集為一體,此款設備是我司于2013年研發成功的,可配備PE射頻電源,將CVD系統升級為PECVD。當參與反應的氣氛進入爐管在射頻電源的作用下產生離子體,可使反應更加充分。同時等離子體起增強的作用,從而很大程度上優化實驗的工藝條件。

                • 產品型號:PECVD-500A-D
                • 廠商性質:生產廠家
                • 更新時間:2024-02-18
                • 訪  問  量:1241

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                品牌貝意克

                 我公司研制的滑軌式PECVD系統能使整個實驗腔體都處于輝光產生區,輝光均勻等效,這種技術很好的解決了傳統等離子工作不穩定狀態,這樣離子化的范圍和強度是傳統PECVD的百倍,并解決了物料不均勻堆積現象。

                 與傳統CVD系統比較,生長溫度更低。

                 使用滑軌爐實現快速升溫和降溫。

                 設備*的技術使得整管輝光均勻等效,均勻生長。

                主要特點:

                1.薄膜沉積速率高:射頻輝光技術,大大的提高了薄膜的沉積速率,沉積速率可達10?/S;
                2. 大面積均勻性高:采用了先進的多點射頻饋入技術,特殊氣路分布和加熱技術等,使得薄膜均勻性指標達到8%;
                3. 一致性高:用半導體行業的先進設計理念,使得一次沉積的各基片之間偏差低于2%;
                4. 工藝穩定性高:高度穩定的設備保證了工藝的連續和穩定;

                技術參數:

                1、單溫區加熱系統

                最高溫度

                1200

                使用溫度

                1100

                爐膛有效尺寸

                Φ60*1650mm

                爐膛材料

                氧化鋁、高溫纖維制品

                熱電偶類型

                K

                控溫精度

                1

                控溫方式

                30段可編程控溫,PID參數自整定,

                ?操作界面為10"工控電腦,內置PLC控制程序,

                ?可將溫控系統、滑軌爐滑動(時間和距離)設定為程序控制。

                加熱長度

                440mm

                恒溫長度

                200mm

                加熱原件

                電阻絲

                供電電源

                220V

                額定功率

                3KW


                2、PE射頻電源

                CVD系統可配備PE射頻電源,將CVD系統升級為PECVD。當參與反應的氣氛進入爐管在射頻電源的作用下產生離子體,可使反應更加充分。同時等離子體起增強的作用,從而很大程度上優化實驗的工藝條件。

                信號頻率

                13.56 MHz±0.005%

                功率輸出范圍

                500W

                射頻輸出接口

                50 Ω, N-type, female

                功率穩定度

                ±0.1%

                諧波分量

                -50dbc

                供電電壓

                單相交流(187V-253V 頻率50/60HZ

                整機效率

                >=70%

                功率因素

                >=90%

                冷卻方式

                強制風冷


                3、五路質子流量控制系統

                供氣系統是一種可控制4種氣體按不同流量進行混合配比,也可根據實驗需求加裝洗氣裝置,質量流量計安裝于密封的可移動機柜內,由超潔雙拋不銹鋼管與精密雙卡套接頭連接組成,觸摸屏控制。

                連接頭類型

                雙卡套不銹鋼接頭

                標準量程

                氬氣:1000sccm

                氫氣:300sccm

                甲烷:100sccm

                氮氣:500sccm

                氧氣:100sccm

                準確度

                ±1.5%

                線性

                ±0.51.5%

                重復精度

                ±0.2%

                響應時間

                氣特性:14 Sec,電特性:10 Sec

                工作壓差范圍

                0.10.5 MPa

                最大壓力

                3MPa

                接口

                Φ6或者1/4''可選

                顯示

                4位數字顯示

                工作環境溫度

                5~45高純氣體

                壓力真空表

                0.10.15 MPa, 0.01 MPa/


                4、真空機組

                真空機組,內部安裝雙極旋片機械泵1臺,電容真空計1套,并含有配套使用的波紋管,手動擋板閥,卡箍等連接部件。設備冷態極限真空可達0.5Pa。

                工作電電壓

                220V

                功率

                1

                抽氣速率

                16m3/h

                極限真空

                0.5Pa

                進氣口口徑

                KF25

                排氣口口徑

                KF25

                連接方式

                采用波紋管,手動擋板閥與波紋管相連

                電容真空計

                ZDM-I(

                5-5000pa

                不需因測量氣體種類不同而需要系數轉換。具有較高的精確度和重復性,響應時間較短。


                5、壓力控制系統:

                壓力控制系統主要部件蝶閥、壓力控制器、電容真空計組成。

                壓力控制系統的作用:根據實驗要求,在出氣端和泵之間增加蝶閥(調節閥)和真空計,真空計可檢測管內壓力,通過 PLC 調節蝶閥(調節閥)開啟的大小,以達到控制管內壓力不變。

                壓力可范圍:100~100000Pa

                控制精度:測量值±5%




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