化學氣相沉積

簡要描述：迷你智能型等離子體可回轉化學氣相沉積系統
本款設備可以做金屬復合石墨烯材料，是目前先進的金屬復合材料制備設備?？梢杂糜趧恿﹄姵?，提升電池內阻和能量密度，有效解決新能源汽車電池的問題。

產品型號：BTF-1200C-R-S-PECVD
廠商性質：生產廠家
更新時間：2021-10-14
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管式爐

多通道管式爐高溫立式管式爐真空氣氛管式爐化學氣相沉積快速升溫爐等離子體增強

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品牌	貝意克	價格區間	面議
儀器種類	回轉爐	產地類別	國產
應用領域	環保,化工,能源,電子

迷你智能型等離子體可回轉化學氣相沉積系統

1.該設備爐管可360度旋轉，管內壁有石英擋片幫助粉料翻轉有助于燒結得更均勻；

2.該款設備是全自動Plasma增強CVD系統（PECVD）,系統可以實現連續滑動溫區，連續可控溫度以及Plasma強度等，配備真空系統，可以實現低壓條件下的實驗，針對低溫石墨烯、碳納米管生長等。PECVD系統能使整個實驗腔體都處于輝光產生區，輝光均勻等效，這種技術很好的解決了傳統等離子工作不穩定狀態，這樣離子化的范圍和強度是傳統PECVD的百倍，并解決了物料不均勻堆積現象。

化學氣相沉積的技術參數：

型號	BTF-1200C-S-R-PECVD
顯示模式	7"液晶觸屏顯示
最高溫度	1200℃
升溫速率	10℃/S
加熱區長度	230mm
控溫精度	±1℃
加熱元件	電阻絲
熱電偶	K型
控溫方式	7"液晶觸屏與工控儀表雙重控溫，模糊PID控制和自整定調節，人工智能化30段可編程控制，具有超溫和斷偶報警功能。
爐管尺寸	Φ25*800mm
爐管轉速	3~13r/min
傾斜角度	0~35°
加熱功率	3KW
射頻功率輸出范圍	0~500W
供氣系統	標配三路質量流量計（50/100/200sccm）
供電電源	220V50Hz
通訊接口	USB
外形尺寸	1600mm650mm1400mm
設備凈重	約220KG

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