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                當前位置:首頁 > 產品中心 > PECVD系統 > 簡易版 > BTF-1200C-S-PECVD微型PECVD系統

                微型PECVD系統

                簡要描述:微型PECVD系統本設備主要針對實驗中試石墨烯生長和制備使用,同時該設備可以用于碳納米管的生長??芍苽涑龈哔|量的透明導電膜,用作手機觸摸屏,平板電腦,智能穿戴,傳感器等領域。

                • 產品型號:BTF-1200C-S-PECVD
                • 廠商性質:生產廠家
                • 更新時間:2021-09-30
                • 訪  問  量:2365

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                儀器種類管式爐產地類別國產
                應用領域環保,化工,能源,電子

                微型PECVD系統微型PECVD系統

                高溫真空爐加熱腔體采用氧化鋁纖維制品,其極低的熱導率和比熱容,保證了爐膛的快速升溫和低蓄熱,特別適合于科研單位的材料工藝研究。加熱元件選用電阻絲加熱,有利于爐內溫度場的均勻分布。高溫真空電阻爐溫度控制系統采用經典的閉環負反饋控制系統,控溫儀表選用智能型程序溫度調節儀表控溫,電力調制器控制;負載采用小電壓大電流控制,從而大大提高了發熱元件的壽命,測溫元件采用K型熱偶。采用單回路溫控儀能夠自整定PID 參數,無須操作人員的干預,可自行根據不同溫度曲線的升、降溫要求調整輸出信號,同時系統設置了超溫、欠溫、斷偶報警保護功能,大大降低了對操作人員經驗的要求,關鍵電氣元件采用優質的進口產品,做到高性能、免維護,提高了設備質量的可靠性。               

                 1、加熱系統

                最高溫度

                1200℃

                使用溫度

                ≤1100℃

                爐膛有效尺寸

                Φ100mm(適用于2-3英寸樣品,爐管直徑可根據實際需要定制。)

                爐膛材料

                氧化鋁、高溫纖維制品

                熱電偶類型

                K型熱電偶

                控溫精度

                ±1℃

                控溫方式

                30段可編程控溫,PID參數自整定。

                加熱長度

                230mm

                恒溫長度

                100mm

                加熱原件

                電阻絲

                供電電源

                單相,220V,50Hz

                2、PE射頻電源

                功率輸出范圍

                0W~500W

                最大反射功率

                100W

                射頻輸出接口

                50 Ω, N-type, female

                功率穩定度

                ≤5W

                諧波分量

                ≤-50dbc

                供電電壓

                單相交流(187V-253V) 頻率50/60HZ

                整機效率

                >=70%

                功率因素

                >=90%

                冷卻方式

                強制風冷

                3、三路質子流量控制系統

                連接頭類型

                雙卡套不銹鋼接頭

                標準量程(N2)

                50sccm,100sccm、500sccm(可根據用戶要求定制)

                準確度

                ±1.5%F.S

                線性

                ±1%F.S

                重復精度

                ±0.2%F.S

                響應時間

                氣特性:1~4 Sec,電特性:10 Sec

                工作壓差范圍

                0.1~0.5 MPa

                最大壓力

                3MPa

                接口

                Φ6,1/4''

                顯示

                4位數字顯示

                工作環境溫度

                5~45高純氣體

                壓力真空表

                -0.1~0.15 MPa, 0.01 MPa/格

                截止閥

                Φ6

                內外雙拋不銹鋼管

                Φ6

                4、機械泵

                抽氣速率

                10m3/h

                極限真空

                5X10-1Pa

                工作壓力范圍

                1.01325X105~1.33X10-2Pa

                耐壓值

                0.03MPa

                容油量

                1.1L

                進氣口口徑

                KF25

                排氣口口徑

                KF25

                噪音

                50dB

                連接方式

                采用波紋管,手動擋板閥與波紋管相連


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